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纯 臭 氧 发 生 器 _ 高 浓 度 臭 氧 气 体 发 生 器 北 京 同 林 科 技 有 限 公 司 搜 索 北 京 同 林 超 纯 臭 氧 设 备 服 务 商 超 纯 臭 氧 选 购 服 务 热 线 ： 0 1 0 8 2 4 6 1 8 3 0 首 页 超 纯 臭 氧 发 生 器 应 用 与 方 案 案 例 · 新 闻 关 于 我 们 联 系 我 们 M e i d e n 纯 臭 氧 发 生 器 · 核 心 竞 争 力 重 品 质 重 体 验 ， 让 臭 氧 更 纯 、 更 安 全 安 全 设 计 紧 急 情 况 下 的 防 爆 设 计 更 安 全 信 赖 性 紧 急 吹 扫 机 制 与 紧 急 停 止 开 关 更 可 靠 标 准 认 证 符 合 国 际 安 全 标 准 S E M I S 2 、 U L 、 N F P A 、 C E 品 质 保 证 跟 踪 测 试 证 实 气 体 泄 漏 的 安 全 性 第 三 方 认 证 机 构 O E R * 工 艺 技 术 使 O H 自 由 基 的 产 生 量 更 大 化 明 电 舍 独 自 研 发 产 品 中 心 保 持 高 纯 度 、 安 全 性 、 连 续 性 核 心 · 产 品 C o r e · P r o d u c t s 标 准 款 批 次 形 式 > 连 续 款 连 续 供 给 形 式 Ⅰ > 连 续 供 给 形 式 Ⅱ > M e i d e n 超 纯 臭 氧 发 生 器 可 以 持 续 供 给 1 0 0 % 浓 度 臭 氧 0 1 0 8 2 4 6 1 8 3 0 立 即 预 约 应 用 · 解 决 方 案 薄 膜 、 材 料 、 半 导 体 、 先 端 技 术 、 医 疗 、 环 境 高 品 质 金 属 氧 化 物 薄 膜 成 长 I n s i t u 洗 净 碳 素 纤 维 的 改 质 薄 膜 上 常 温 成 膜 洗 净 / 去 除 ( 灰 化 ) 更 多 高 品 质 金 属 氧 化 物 薄 膜 成 长 【 M B E ( 分 子 束 外 延 ) 用 氧 气 源 适 用 例 】 · 利 用 纯 臭 氧 作 为 氧 气 源 可 以 形 成 高 品 质 的 金 属 氧 化 物 薄 膜 。 · 利 用 纯 臭 氧 作 为 氧 气 源 的 优 越 性 得 到 国 际 认 知 。 · 東 京 大 学 川 崎 研 究 室 提 供 I n s i t u 洗 净 【 E U V 光 刻 装 置 后 工 程 的 I n s i t u 洗 净 】 · 可 以 I n s i t u 即 时 清 洗 低 压 和 高 反 应 性 电 极 部 · 在 没 有 生 成 氧 化 物 的 同 时 去 除 污 染 （ 碳 污 染 ） ， 保 持 光 束 反 射 率 · 1 0 0 % 浓 度 纯 臭 氧 不 含 N O x 和 H ₂ O ， 不 会 对 M a s k , M i r r o r 造 成 损 伤 · 超 真 空 环 境 下 也 能 达 到 1 0 0 % 浓 度 纯 臭 氧 ， 可 以 充 分 分 解 O u t G a s 碳 素 纤 维 的 改 质 【 改 质 效 果 】 · 可 以 对 碳 素 纤 维 进 行 内 部 改 质 · 长 期 亲 水 性 （ 1 个 月 以 上 ） · 无 热 或 物 理 损 伤 薄 膜 上 常 温 成 膜 【 高 密 封 性 实 例 】 · 通 过 O E R 工 艺 常 温 生 成 O H 活 性 基 ， 没 有 热 或 物 理 损 伤 · 不 需 要 真 空 排 气 ， 大 幅 度 缩 短 成 膜 时 间 · 利 用 专 用 喷 头 均 匀 喷 射 气 体 ， 上 游 和 下 游 之 间 没 有 分 布 差 异 洗 净 / 去 除 ( 灰 化 ) 【 半 导 体 制 造 工 程 】 · 室 温 下 高 速 度 灰 化 · 可 以 灰 化 各 种 半 导 体 光 刻 胶 · 在 高 离 子 注 入 后 灰 化 时 不 产 生 光 刻 胶 爆 裂 半 导 体 制 造 工 程 （ 高 离 子 注 入 ） 的 光 刻 胶 灰 化 应 用 案 例 深 沟 槽 衬 底 应 用 案 例 高 密 封 性 应 用 案 例 碳 素 纤 维 的 改 质 案 例 M e i d e n · 实 力 铸 就 信 赖 从 设 备 到 服 务 ， 缔 造 纯 臭 氧 时 代 国 际 安 全 标 准 S E M I S 2 、 U L 、 C E 自 有 技 术 明 电 舍 独 自 研 发 专 业 臭 氧 团 队 2 0 年 臭 氧 行 业 经 验 4 S 式 服 务 机 制 一 站 式 无 忧 体 验 国 际 安 全 标 准 S E M I S 2 、 U L 、 C E · 符 合 国 际 安 全 标 准 （ S E M I S 2 、 U L 、 N F P A 、 C E 等 ） · 由 第 三 方 认 证 机 关 通 过 示 踪 气 体 实 验 认 证 具 有 防 止 气 体 泄 露 的 安 全 性 。 自 有 技 术 明 电 舍 独 自 研 · 通 过 混 合 高 浓 度 臭 氧 和 乙 烯 气 体 , 成 功 生 成 高 活 性 O H 基 。 · 能 够 适 当 的 控 制 臭 氧 和 乙 烯 气 体 的 压 力 比 ， 从 而 增 加 O H 基 的 生 成 量 。 专 业 臭 氧 团 队 2 0 年 臭 氧 行 业 经 验 · 从 产 品 设 计 到 调 试 ， 我 们 高 技 能 的 员 工 通 过 提 供 高 质 量 ， 对 社 会 负 责 的 产 品 和 服 务 ， 帮 助 客 户 解 决 各 种 问 题 并 实 现 他 们 的 梦 想 。 · 服 务 人 员 中 不 乏 2 0 余 年 行 业 经 验 ， 快 速 获 取 客 户 故 障 反 馈 需 求 ， 减 少 沟 通 时 间 。 4 S 式 服 务 机 制 一 站 式 无 忧 体 验 · 售 前 ： 技 术 人 员 深 入 了 解 客 户 需 求 ， 科 学 规 划 产 品 方 案 。 · 售 中 ： 免 费 配 送 上 门 ， 提 供 产 品 操 作 培 训 ， 保 证 客 户 方 掌 握 操 作 方 法 。 · 售 后 ： 建 立 产 品 终 身 档 案 制 ， 服 务 应 急 机 制 ， 终 身 培 训 指 导 ， 免 费 配 置 升 级 ， 上 门 维 护 。 C u s t o m e r D i r e c t o r y 客 户 名 录 我 们 心 目 中 的 “ 品 质 ” ， 不 仅 意 味 着 产 品 及 服 务 的 质 量 ， 还 涵 盖 了 支 撑 起 明 电 品 质 的 “ 人 ” 与 “ 技 术 ” 。 凭 借 员 工 的 诚 挚 之 心 和 灵 活 的 应 对 能 力 ， 与 全 球 客 户 建 立 更 加 紧 密 的 联 系 。 了 解 详 情 > 新 闻 · 资 讯 品 牌 动 态 臭 氧 知 识 常 见 问 答 头 条 推 荐 R e c o m m e n d 0 9 0 8 2 5 超 纯 臭 氧 发 生 器 作 为 M B E （ 分 子 束 外 延 ） 氧 化 源 应 用 实 例 超 纯 臭 氧 发 生 器 作 为 M B E （ 分 子 束 外 延 ） 氧 化 源 应 用 实 例 M B E （ 分 子 束 外 延 ） 氧 化 源 应 用 实 例 超 纯 臭 氧 发 生 器 实 现 的 功 能 和 规 范 1 . 低 杂 质 高 纯 度 （ p p b ） （ 竞 争 对 手 ： p p m . . . . . 头 条 推 荐 R e c o m m e n d 0 9 0 8 2 5 超 纯 臭 氧 生 成 技 术 原 理 超 纯 臭 氧 生 成 技 术 原 理 高 纯 臭 氧 提 供 系 统 作 为 氧 化 物 分 子 束 外 延 系 统 和 激 光 分 子 束 外 延 系 统 的 重 要 组 成 部 分 ， 用 于 为 氧 化 物 分 子 束 外 延 系 统 和 激 光 分 子 束 外 延 系 统 提 供 高 活 性 氧 来 源 。 . . . . . 0 9 \ \ 0 8 超 纯 臭 氧 发 生 器 作 为 M B E （ 分 子 束 外 延 ） 氧 化 源 应 用 实 例 超 纯 臭 氧 发 生 器 作 为 M B E （ 分 子 束 外 延 ） 氧 化 源 应 用 实 例 M B E （ 分 子 束 外 延 ） 氧 化 源 应 用 实 例 超 纯 臭 氧 发 生 器 实 现 的 功 能 和 规 范 1 . 低 杂 质 高 纯 度 （ p p b ） （ 竞 争 对 手 ： p p m . . . . 0 9 \ \ 0 8 超 纯 臭 氧 生 成 技 术 原 理 超 纯 臭 氧 生 成 技 术 原 理 高 纯 臭 氧 提 供 系 统 作 为 氧 化 物 分 子 束 外 延 系 统 和 激 光 分 子 束 外 延 系 统 的 重 要 组 成 部 分 ， 用 于 为 氧 化 物 分 子 束 外 延 系 统 和 激 光 分 子 束 外 延 系 统 提 供 高 活 性 氧 来 源 。 . . . . 0 9 \ \ 0 5 超 纯 臭 氧 发 生 器 应 用 有 哪 些 超 纯 臭 氧 发 生 器 应 用 有 哪 些 纯 臭 氧 解 决 方 案 ， 目 前 只 有 我 公 司 实 现 的 非 常 好 高 纯 度 ， 高 浓 度 臭 氧 “ 纯 臭 氧 ” 经 过 多 年 的 提 炼 我 们 提 供 全 球 范 围 内 只 有 我 们 才 能 提 供 的 臭 氧 解 决 方 案 。 如 . . . . 0 8 \ \ 2 7 超 纯 臭 氧 发 生 器 的 好 处 超 纯 臭 氧 发 生 器 的 好 处 超 纯 臭 氧 发 生 器 是 一 台 将 臭 氧 气 体 液 化 并 储 存 ， 并 且 能 够 连 续 供 应 高 纯 度 臭 氧 气 体 的 装 置 。 由 于 其 高 纯 度 的 臭 氧 水 平 ， 它 可 以 作 为 半 导 体 工 艺 中 的 氧 自 由 基 生 成 . . . . 头 条 推 荐 R e c o m m e n d 0 5 1 0 2 1 问 候 语 问 候 语 取 締 役 社 長 三 井 田 健 2 0 1 7 年 我 们 庆 祝 公 司 成 立 1 2 0 周 年 。 我 们 要 感 谢 许 多 客 户 的 信 任 和 惠 顾 。 迈 登 集 团 以 创 造 更 美 好 的 未 来 和 让 客 户 安 心 ， 快 乐 的 企 业 理 念 为 基 础 ， 建 立 了 新 的 企 . . . . . 头 条 推 荐 R e c o m m e n d 0 5 1 0 2 1 明 电 舍 温 室 气 体 减 排 目 标 （ 向 上 修 订 ） 温 室 气 体 减 排 目 标 （ 向 上 修 订 ） 修 订 前 （ 于 2 0 1 8 年 5 月 宣 布 ） 校 正 后 （ 2 0 2 1 年 4 月 〜 ） 2 0 3 0 年 目 标 表 现 2 0 3 0 年 目 标 [ S B T 认 证 ] 业 务 活 动 产 生 的 排 放 （ 范 围 1 + 2 ） 减 少 3 0 ％ （ 与 2 0 1 7 年 相 比 ） 2 0 1 9 年 . . . . . 0 5 \ \ 1 0 问 候 语 问 候 语 取 締 役 社 長 三 井 田 健 2 0 1 7 年 我 们 庆 祝 公 司 成 立 1 2 0 周 年 。 我 们 要 感 谢 许 多 客 户 的 信 任 和 惠 顾 。 迈 登 集 团 以 创 造 更 美 好 的 未 来 和 让 客 户 安 心 ， 快 乐 的 企 业 理 念 为 基 础 ， 建 立 了 新 的 企 . . . . 0 5 \ \ 1 0 明 电 舍 温 室 气 体 减 排 目 标 （ 向 上 修 订 ） 温 室 气 体 减 排 目 标 （ 向 上 修 订 ） 修 订 前 （ 于 2 0 1 8 年 5 月 宣 布 ） 校 正 后 （ 2 0 2 1 年 4 月 〜 ） 2 0 3 0 年 目 标 表 现 2 0 3 0 年 目 标 [ S B T 认 证 ] 业 务 活 动 产 生 的 排 放 （ 范 围 1 + 2 ） 减 少 3 0 ％ （ 与 2 0 1 7 年 相 比 ） 2 0 1 9 年 . . . . 0 5 \ \ 1 0 提 高 中 长 期 温 室 气 体 减 排 目 标 并 获 得 S B T 认 证 明 电 社 株 式 会 社 （ 社 长 ： 东 京 都 品 川 区 三 井 田 贤 代 ， 下 称 明 电 社 ） 正 根 据 从 2 0 2 1 年 开 始 实 施 的 新 的 中 期 经 营 计 划 ， 致 力 于 向 2 0 5 0 年 实 现 碳 中 和 的 社 会 脱 碳 目 标 。 将 向 上 修 订 2 0 3 0 财 年 （ 中 间 阶 . . . . 关 于 M e i d e n 承 担 创 造 新 技 术 和 价 值 的 挑 战 M E I D E N （ 明 电 舍 ） 主 要 生 产 用 于 半 导 体 设 备 使 用 的 超 纯 臭 氧 发 生 器 ， 安 全 设 计 、 符 合 国 际 标 准 ， 经 第 三 方 安 全 检 测 无 泄 漏 ！ 【 查 看 更 多 】 网 站 首 页 首 页 超 纯 臭 氧 发 生 器 应 用 与 方 案 案 例 · 新 闻 关 于 我 们 联 系 我 们 臭 氧 实 验 公 众 号 联 系 我 们 明 電 舎 M E I D E N S H A 半 导 体 设 备 制 造 商 ! 电 话 0 1 0 8 2 4 6 1 8 3 0 邮 箱 7 2 5 5 7 6 1 0 2 @ q q . c o m 地 址 北 京 市 海 淀 区 S O C O 公 社 一 层 电 话 0 1 0 8 2 4 6 1 8 3 0 微 信 客 服 返 回 顶 部 C o p y r i g h t © w w w . p u r e o z o n e . c n 版 权 所 有 友 情 链 接 ： 臭 氧 检 测 仪       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