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碳化硅外延设备原子层沉积设备

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公司主要从事第三代半导体碳化硅、新型光伏材料、纳米材料等材料领域所需的薄膜沉积设备等高端设备的研发、生产和销售

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如 果 您 有 任 何 意 见 或 建 议 请 电 邮 c s m z h u h a i @ 3 0 0 . c n 深 圳 市 纳 设 智 能 装 备 股 份 有 限 公 司 智 能 设 备 碳 化 硅 外 延 设 备 首 页 关 于 纳 设 公 司 简 介 企 业 文 化 发 展 历 程 资 质 与 荣 誉 相 关 专 利 产 品 与 技 术 应 用 产 品 系 列 碳 化 硅 外 延 设 备 原 子 层 沉 积 设 备 科 研 级 定 制 化 C V D 设 备 开 放 式 卷 对 卷 石 墨 烯 制 备 设 备 应 用 领 域 光 伏 钙 钛 矿 第 三 代 半 导 体 二 维 材 料 新 闻 中 心 公 司 动 态 行 业 资 讯 诚 聘 英 才 联 系 我 们 0 7 5 5 2 3 2 4 3 3 4 5 E n 中 文 版 E n g l i s h 全 部 全 部 产 品 管 理 新 闻 资 讯 介 绍 内 容 企 业 网 点 常 见 问 题 企 业 视 频 企 业 图 册 搜 索 s c r o l l d o w n 关 于 纳 设   A B O U T   U S           深 圳 市 纳 设 智 能 装 备 股 份 有 限 公 司 ( 以 下 简 称 ” 纳 设 智 能 ” ) 成 立 于 2 0 1 8 年 1 0 月 , 坐 落 于 深 圳 市 光 明 区 留 学 人 员 创 业 园 。 公 司 主 要 从 事 第 三 代 半 导 体 碳 化 硅 、 新 型 光 伏 材 料 、 纳 米 材 料 等 先 进 材 料 领 域 所 需 的 薄 膜 沉 积 设 备 等 高 端 设 备 的 研 发 、 生 产 和 销 售 。 公 司 以 “ 成 为 全 球 先 进 材 料 制 造 设 备 引 领 者 ” 为 愿 景 , 始 终 坚 持 自 主 创 新 , 团 队 由 来 自 剑 桥 大 学 的 博 士 、 研 究 员 和 资 深 行 业 专 家 为 基 础 , 打 造 了 一 支 对 薄 膜 沉 积 设 备 等 高 端 装 备 以 及 先 进 材 料 制 造 工 艺 均 具 有 丰 富 技 术 积 累 和 深 入 理 解 的 核 心 技 术 团 队 。 公 司 于 2 0 2 0 年 被 评 定 为 具 有 高 成 长 性 的 “ 国 家 高 新 技 术 企 业 ” , 2 0 2 3 年 荣 获 深 圳 市 “ 专 精 特 新 ” 中 小 企 业 认 定 , 也 认 证 有 I S O 9 0 0 1 质 量 管 理 体 系 及 售 后 服 务 体 系 。 了 解 更 多 2 0 1 8 年 公 司 成 立 2 0 2 0 年 被 评 定 为 国 家 高 新 技 术 企 业 2 0 + 年 技 术 沉 淀 1 0 0 + 技 术 专 利 产 品 中 心   P R O D U C T S & T E C H N O L O G Y   碳 化 硅 外 延 设 备 纳 设 智 能 碳 化 硅 外 延 设 备 采 用 水 平 热 壁 的 技 术 路 线 实 现 单 片 式 外 延 生 长 , 兼 容 8 英 寸 、 6 英 寸 外 延 片 , 温 场 流 场 等 结 构 稳 定 , 耗 材 成 本 、 维 护 频 次 更 低 , 设 备 工 艺 指 标 优 异 , 厚 度 均 匀 性 、 浓 度 均 匀 性 、 缺 陷 密 度 等 均 达 到 行 业 先 进 水 平 。 原 子 层 沉 积 设 备 纳 设 智 能 原 子 层 沉 积 设 备 根 据 表 面 化 学 自 限 制 反 应 原 理 , 采 用 空 间 隔 离 技 术 , 能 够 精 确 控 制 薄 膜 厚 度 和 生 长 速 率 , 适 用 于 不 同 沉 积 材 料 , 在 高 速 率 的 薄 膜 生 长 过 程 中 能 保 持 薄 膜 的 均 匀 性 , 进 而 制 备 出 均 匀 性 好 、 保 形 性 优 、 致 密 性 佳 的 薄 膜 材 料 , 应 用 于 对 超 薄 薄 膜 ( 1 n m ~ 5 0 n m ) 有 需 求 的 各 个 领 域 , 如 光 伏 , 半 导 体 , 面 板 显 示 , 生 物 医 疗 等 。 科 研 级 定 制 化 C V D 设 备 化 学 气 相 沉 积 ( C V D ) 设 备 是 一 种 关 键 的 制 备 工 具 , 被 广 泛 应 用 于 材 料 制 备 和 表 面 工 程 领 域 。 C V D 设 备 的 工 作 原 理 是 通 过 将 气 态 前 体 物 质 在 恰 当 的 温 度 、 压 力 和 反 应 条 件 下 与 基 底 表 面 反 应 , 从 而 形 成 所 需 的 薄 膜 结 构 , 在 半 导 体 、 光 电 子 器 件 、 表 面 涂 层 等 领 域 有 着 广 泛 的 应 用 。 开 放 式 卷 对 卷 石 墨 烯 制 备 设 备 开 放 式 卷 对 卷 石 墨 烯 制 备 设 备 是 一 种 用 于 大 规 模 生 产 石 墨 烯 薄 膜 的 关 键 设 备 。 这 种 设 备 采 用 卷 对 卷 ( r o l l t o r o l l ) 的 生 产 方 式 , 即 将 基 底 材 料 ( 如 聚 酰 亚 胺 薄 膜 、 聚 酯 薄 膜 等 ) 和 石 墨 烯 前 体 材 料 以 连 续 的 方 式 卷 绕 在 辊 筒 之 间 , 并 在 适 当 的 温 度 和 气 氛 下 进 行 热 解 , 使 石 墨 烯 层 沉 积 在 基 底 上 , 开 放 式 卷 对 卷 石 墨 烯 制 备 设 备 可 实 现 大 规 模 、 高 效 率 的 石 墨 烯 薄 膜 生 产 , 为 石 墨 烯 在 电 子 、 光 学 和 能 源 领 域 的 广 泛 应 用 提 供 了 关 键 支 持 。 应 用 领 域   A D V A N T A G E M A T E R I A L   光 伏 钙 钛 矿 钙 钛 矿 是 一 种 新 型 的 太 阳 能 电 池 材 料 , 钙 钛 矿 太 阳 能 电 池 利 用 有 机 铅 卤 化 物 ( 如 甲 基 铅 溴 化 物 ) 与 无 机 卤 化 物 ( 如 钙 钛 矿 ) 形 成 的 钙 钛 矿 晶 体 结 构 来 转 换 太 阳 能 光 子 为 电 能 。 自 从 2 0 0 9 年 首 次 报 道 以 来 , 钙 钛 矿 太 阳 能 电 池 领 域 已 经 取 得 了 飞 速 发 展 , 不 断 提 高 转 换 效 率 、 稳 定 性 和 制 备 工 艺 , 已 经 开 始 商 业 化 生 产 。 第 三 代 半 导 体 第 三 代 半 导 体 是 指 相 对 于 传 统 的 硅 基 半 导 体 而 言 , 具 有 更 优 异 性 能 和 应 用 前 景 的 新 型 半 导 体 材 料 和 器 件 。 这 些 半 导 体 材 料 通 常 包 括 碳 化 硅 ( S i C ) 、 氮 化 镓 ( G a N ) 等 , 具 有 较 高 的 电 子 迁 移 率 、 热 稳 定 性 和 宽 带 隙 等 优 点 。 二 维 材 料 二 维 材 料 是 指 在 至 少 一 个 维 度 上 具 有 纳 米 尺 度 的 厚 度 的 材 料 , 同 时 在 另 外 两 个 维 度 上 具 有 微 米 或 更 大 尺 寸 的 长 度 和 宽 度 。 这 些 材 料 通 常 以 单 层 或 几 层 原 子 的 形 式 存 在 , 并 且 具 有 特 殊 的 物 理 、 化 学 和 电 子 性 质 。 常 见 的 二 维 材 料 有 石 墨 烯 、 硼 氮 化 物 、 过 渡 族 金 属 二 硫 化 物 等 , 二 维 材 料 因 其 独 特 的 性 质 , 在 纳 米 电 子 学 、 光 电 子 学 、 催 化 剂 、 生 物 医 学 和 能 源 存 储 等 领 域 都 展 现 出 了 巨 大 的 潜 力 , 并 在 各 种 领 域 的 研 究 和 应 用 中 受 到 了 广 泛 关 注 。 新 闻 资 讯   N E W S I N F O R M A T I O N 凝 “ 芯 ” 聚 力 丨 纳 设 智 能 S E M I e 圆 满 结 束 ! 6 月 2 6 2 8 日 , S E M I e 第 六 届 深 圳 国 际 半 导 体 展 在 深 圳 国 际 会 展 中 心 ( 宝 安 新 馆 ) 举 办 , 纳 设 智 能 出 席 参 展 , 与 行 业 同 仁 深 入 探 讨 半 导 体 行 业 发 展 的 风 向 标 , 共 同 见 证 了 一 场 精 彩 纷 呈 的 科 技 盛 宴 。 2 0 2 4 0 7 0 1 扬 帆 出 海 | 纳 设 智 能 亮 相 马 来 西 亚 S E M I C O N S E A 2 0 2 4 ! 5 月 2 8 日 至 3 0 日 , S E M I C O N S o u t h e a s t A s i a 2 0 2 4 在 马 来 西 亚 吉 隆 坡 国 际 贸 易 与 会 展 中 心 ( M I T E C ) 盛 大 举 行 。 作 为 先 进 材 料 制 造 装 备 厂 商 , 纳 设 智 能 首 次 亮 相 海 外 大 型 展 会 , 在 东 南 亚 地 区 规 模 最 大 的 半 导 体 展 览 会 上 , 与 世 界 各 地 的 半 导 体 企 业 进 行 深 入 的 交 流 , 共 同 探 讨 产 业 发 展 趋 势 。 2 0 2 4 0 6 0 4 展 会 回 顾 | 纳 设 智 能 精 彩 亮 相 2 0 2 4 半 导 体 先 进 技 术 创 新 发 展 和 机 遇 大 会 5 月 2 2 2 3 日 , 由 雅 时 国 际 商 讯 ( A C T I n t e r n a t i o n a l ) 组 织 举 办 的 “ 2 0 2 4 半 导 体 先 进 技 术 创 新 发 展 和 机 遇 大 会 ( S A T C o n 2 0 2 4 ) ” 在 苏 州 狮 山 国 际 会 议 中 心 举 行 , 纳 设 智 能 应 邀 参 加 , 与 行 业 同 仁 共 同 探 讨 化 合 物 半 导 体 材 料 与 制 备 工 艺 、 功 率 电 力 电 子 器 件 封 装 及 应 用 技 术 、 半 导 体 制 造 与 先 进 封 装 等 行 业 热 点 话 题 。 2 0 2 4 0 5 2 5 先 进 制 造 商 学 院 总 裁 班 学 员 走 进 中 国 半 导 体 行 业 协 会 交 流 合 作 5 月 1 3 日 上 午 , 先 进 制 造 商 学 院 执 行 院 长 姜 延 宾 带 领 总 裁 班 学 员 前 往 中 国 半 导 体 行 业 协 会 进 行 座 谈 交 流 , 作 为 先 进 制 造 商 学 院 总 裁 班 的 优 秀 代 表 陈 炳 安 博 士 参 与 了 此 次 交 流 活 动 。 2 0 2 4 0 5 1 7 纳 设 智 能 : S i C 业 绩 增 长 1 0 倍 , 持 续 优 化 迭 代 助 力 产 业 发 展 回 首 2 0 2 3 , 碳 化 硅 和 氮 化 镓 行 业 取 得 了 哪 些 进 步 ? 出 现 了 哪 些 变 化 ? 2 0 2 4 将 迎 来 哪 些 新 机 遇 和 新 挑 战 ?   为 更 好 地 解 读 产 业 格 局 , 探 索 未 来 的 前 进 方 向 , 行 家 说 三 代 半 、 行 家 极 光 奖 联 合 策 划 了 《 行 家 瞭 望 — — 2 0 2 4 , 火 力 全 开 》 专 题 报 道 。 本 期 嘉 宾 是 纳 设 智 能 副 总 经 理 、 首 席 营 销 官   李 小 天 。 新 产 线 加 速 S i C 设 备 交 付 6 吋 & 8 吋 发 力 , 业 绩 增 长 1 0 倍   行 家 说 三 代 半 : 过 去 一 年 , 贵 公 司 主 要 做 了 哪 些 关 键 性 工 作 ? 李 小 天 : 过 去 一 年 , 是 纳 设 快 速 发 展 的 一 年 。 2 0 2 3 年 , 我 们 在 江 苏 南 通 设 立 了 全 资 子 公 司 , 南 通 子 公 司 以 生 产 交 付 、 工 艺 验 证 为 主 , 新 产 品 研 发 为 辅 , 这 将 大 大 增 加 了 我 们 的 生 产 能 力 , 缩 短 交 货 周 期 , 提 高 产 品 品 质 , 确 保 满 足 不 同 产 品 、 不 同 区 域 客 户 的 交 付 和 响 应 支 持 。 行 家 说 三 代 半 : 2 0 2 3 年 贵 公 司 取 得 了 哪 些 成 绩 ? 你 们 实 现 增 长 的 战 略 是 什 么 ? 李 小 天 : 2 0 2 3 年 , 纳 设 智 能 6 英 寸 的 碳 化 硅 外 延 设 备 批 量 出 货 给 多 家 外 延 客 户 , 也 获 得 了 批 量 验 收 , 业 绩 相 较 于 2 0 2 2 年 增 长 了 1 0 倍 , 标 志 着 我 们 的 产 品 已 经 得 到 市 场 的 认 可 。 同 时 , 我 们 紧 跟 碳 化 硅 产 业 向 更 大 尺 寸 发 展 的 趋 势 , 研 发 并 交 付 了 8 英 寸 碳 化 硅 外 延 设 备 , 其 具 备 独 特 的 反 应 腔 室 设 计 、 可 独 立 控 制 的 多 区 进 气 方 式 等 特 点 , 将 更 好 的 提 高 外 延 片 的 均 匀 性 , 降 低 外 延 缺 陷 及 生 产 中 的 耗 材 成 本 。 目 前 , 该 设 备 已 销 售 多 个 客 户 。 作 为 设 备 厂 商 , 我 们 注 重 技 术 创 新 和 市 场 需 求 的 紧 密 结 合 , 在 产 品 设 计 开 发 阶 段 我 们 会 充 分 听 取 客 户 的 意 见 , 站 在 使 用 者 的 角 度 出 发 , 以 确 保 我 们 的 新 产 品 和 技 术 升 级 能 够 更 好 地 解 决 客 户 的 实 际 问 题 。 同 时 , 在 服 务 客 户 的 时 候 我 们 也 积 极 的 捕 捉 客 户 的 需 求 变 化 和 潜 在 问 题 点 , 基 于 客 户 反 馈 , 我 们 持 续 对 设 备 功 能 进 行 优 化 升 级 , 对 服 务 流 程 进 行 改 进 , 以 确 保 不 断 增 强 客 户 的 满 意 度 和 忠 诚 度 , 从 而 为 公 司 的 长 远 发 展 奠 定 坚 实 基 础 。 8 英 寸 S i C 趋 势 增 强 以 研 发 创 新 实 现 差 异 化   行 家 说 三 代 半 : 您 认 为 2 0 2 3 年 整 个 行 业 取 得 了 哪 些 新 的 进 步 ( 包 括 市 场 、 技 术 等 ) ? 李 小 天 : 随 着 电 动 汽 车 和 可 再 生 能 源 应 用 的 增 长 , 对 高 效 、 高 性 能 的 半 导 体 材 料 需 求 上 升 , 碳 化 硅 在 市 场 上 的 地 位 得 到 了 进 一 步 的 巩 固 和 扩 张 。 晶 圆 扩 径 可 以 从 源 头 上 大 幅 度 降 低 碳 化 硅 的 器 件 成 本 , 因 此 碳 化 硅 6 英 寸 向 8 英 寸 过 渡 是 产 业 发 展 的 趋 势 。 8 英 寸 碳 化 硅 产 业 的 发 展 一 方 面 取 决 于 材 料 端 快 速 的 成 熟 , 另 一 方 面 就 是 晶 圆 产 线 的 完 善 。 在 衬 底 端 , 截 至 2 0 2 3 年 , 中 国 已 有 1 6 家 企 业 发 布 了 8 英 寸 衬 底 , 国 内 已 经 实 现 了 8 英 寸 从 0 到 1 的 突 破 , 并 且 头 部 厂 商 已 经 实 现 了 小 批 量 的 供 货 。 在 外 延 端 , 国 际 器 件 大 厂 已 经 开 始 批 量 采 用 国 产 外 延 片 来 生 产 车 规 级 的 S i C M O S F E T , 国 产 外 延 片 实 现 了 上 车 的 突 破 。 在 器 件 端 , 碳 化 硅 产 业 新 建 的 产 线 基 本 都 是 6 & 8 英 寸 兼 容 , 也 证 明 了 国 内 8 英 寸 碳 化 硅 的 发 展 趋 势 在 不 断 加 强 。   行 家 说 三 代 半 : 在 降 本 增 效 方 面 , 2 0 2 3 年 最 值 得 关 注 和 重 视 的 新 变 化 是 什 么 ? 李 小 天 : 在 碳 化 硅 产 业 链 中 , 衬 底 部 分 占 据 主 要 价 值 份 额 , 当 前 碳 化 硅 晶 体 的 制 备 效 率 较 低 , 这 直 接 影 响 了 碳 化 硅 衬 底 的 成 本 , 随 着 晶 体 制 备 技 术 提 升 , 包 括 P V T 、 液 相 法 , H T C V D 技 术 的 进 步 , 以 及 晶 锭 切 割 新 技 术 都 为 碳 化 硅 晶 体 的 商 业 化 生 产 提 供 了 新 的 动 力 。 最 近 , 天 岳 先 进 公 司 也 宣 布 使 用 液 相 法 成 功 制 备 出 低 缺 陷 的 8 英 寸 晶 体 , 随 着 这 些 技 术 的 优 化 和 创 新 , 碳 化 硅 晶 体 制 备 的 效 率 有 望 提 高 , 从 而 降 低 成 本 。 行 家 说 三 代 半 : 成 本 是 把 双 刃 剑 , 行 业 规 模 化 发 展 需 要 接 近 硅 器 件 的 低 成 本 , 但 也 要 防 止 被 低 价 所 反 噬 , 您 如 何 看 待 行 业 的 低 价 和 同 质 化 竞 争 ? 贵 公 司 有 哪 些 好 的 做 法 和 建 议 ? 李 小 天 : 低 价 和 同 质 化 竞 争 在 许 多 成 熟 产 业 中 是 一 种 常 见 现 象 。 碳 化 硅 行 业 目 前 面 临 着 越 来 越 激 烈 的 竞 争 , 一 方 面 低 成 本 能 够 加 速 碳 化 硅 市 场 的 扩 展 和 碳 化 硅 下 游 新 应 用 的 推 广 , 同 时 也 会 加 速 行 业 的 整 合 , 加 速 碳 化 硅 产 业 的 成 熟 。 但 恶 性 低 价 和 同 质 化 竞 争 也 会 带 来 潜 在 的 负 面 影 响 , 会 阻 挠 企 业 的 健 康 发 展 , 限 制 其 在 研 发 和 技 术 创 新 上 的 投 资 能 力 , 从 而 不 利 于 整 个 碳 化 硅 产 业 的 持 续 长 远 发 展 。 持 续 的 技 术 创 新 是 避 免 同 质 化 和 维 持 价 格 稳 定 的 关 键 , 纳 设 智 能 在 应 对 同 质 化 竞 争 上 , 不 断 的 围 绕 客 户 需 求 大 胆 创 新 , 如 在 耗 材 成 本 、 维 护 频 次 等 方 面 进 行 设 备 的 持 续 优 化 , 实 现 与 友 商 产 品 的 差 异 化 。 对 于 产 业 , 我 们 认 为 竞 争 并 不 可 怕 , 可 怕 的 是 无 底 线 的 恶 性 竞 争 , 产 业 的 健 康 持 续 发 展 需 要 大 家 共 同 努 力 , 我 们 可 以 通 过 制 定 和 遵 守 碳 化 硅 行 业 标 准 , 保 证 产 品 和 服 务 的 质 量 , 避 免 陷 入 因 降 低 成 本 而 牺 牲 质 量 的 恶 性 竞 争 。 同 时 我 们 鼓 励 推 动 碳 化 硅 行 业 技 术 创 新 和 产 品 升 级 , 提 升 产 品 附 加 值 , 推 动 整 个 碳 化 硅 产 业 的 创 新 发 展 。 国 产 S i C 需 提 升 良 率 和 稳 定 性 多 方 位 优 化 迭 代 助 力 产 业 发 展   行 家 说 三 代 半 : 经 过 前 些 年 的 铺 垫 , S i C / G a N 技 术 目 前 在 许 多 应 用 场 景 都 很 活 跃 , 展 望 2 0 2 4 年 , 您 认 为 行 业 最 大 的 机 会 在 哪 里 ? 贵 公 司 将 如 何 开 拓 这 些 市 场 ? 李 小 天 : 碳 化 硅 上 车 依 旧 是 整 个 行 业 的 热 点 问 题 , 2 0 2 3 年 碳 化 硅 车 型 阵 容 又 进 一 步 扩 大 , 截 至 2 0 2 3 , 全 球 已 知 的 碳 化 硅 车 型 合 计 超 过 1 4 2 款 , 而 车 规 级 的 碳 化 硅 器 件 壁 垒 比 较 高 , 国 内 目 前 还 在 努 力 突 破 , 这 是 行 业 难 点 同 时 也 是 机 会 点 。   行 家 说 三 代 半 : 未 来 几 年 , 整 个 行 业 将 面 临 的 挑 战 有 哪 些 ? 贵 公 司 将 如 何 面 对 并 解 决 挑 战 ? 李 小 天 : 随 着 近 两 年 投 入 的 碳 化 硅 衬 底 、 外 延 项 目 的 批 量 出 货 , 国 内 产 品 与 海 外 产 品 对 比 来 看 , 在 产 品 性 能 参 数 上 , 国 内 碳 化 硅 衬 底 外 延 与 海 外 产 品 基 本 一 致 , 而 不 足 主 要 在 于 良 品 率 和 稳 定 性 。 在 器 件 端 , 国 内 碳 化 硅 二 极 管 已 经 过 剩 了 , 但 是 S i C M O S F E T 才 开 始 进 入 工 业 领 域 , 目 前 国 产 的 车 规 级 S i C M O S F E T 还 在 不 断 验 证 中 , 暂 未 批 量 上 车 。 作 为 一 家 设 备 企 业 , 承 载 着 碳 化 硅 晶 圆 材 料 制 造 的 核 心 技 术 和 工 艺 , 因 此 提 升 设 备 可 靠 性 和 稳 定 性 至 关 重 要 , 如 我 司 的 碳 化 硅 外 延 设 备 , 我 们 从 机 械 结 构 设 计 、 传 感 精 度 、 控 制 算 法 等 多 方 面 着 手 , 围 绕 设 备 的 整 机 性 能 不 断 的 优 化 迭 代 , 确 保 设 备 稳 定 可 靠 ; 另 外 我 们 进 一 步 优 化 技 术 支 持 和 售 后 服 务 体 系 , 快 速 有 效 响 应 客 户 需 求 , 进 一 步 不 断 助 力 产 业 的 发 展 。 行 家 说 三 代 半 : 2 0 2 4 年 , 贵 司 定 下 来 了 哪 些 规 划 和 目 标 ? 李 小 天 : 2 0 2 4 年 , 纳 设 将 完 成 南 通 新 生 产 基 地 的 建 设 与 投 产 , 将 重 点 确 保 新 基 地 所 有 生 产 线 的 顺 利 运 行 , 让 产 能 能 够 得 到 有 效 提 升 。 同 时 , 我 们 也 加 强 供 应 链 管 理 和 内 部 体 系 建 设 , 不 断 完 善 企 业 内 部 管 理 , 确 保 产 品 的 高 质 交 付 。 同 时 , 我 们 也 会 通 过 市 场 研 究 和 技 术 评 估 , 识 别 新 的 机 会 , 特 别 是 在 第 三 代 半 导 体 、 新 型 光 伏 材 料 、 纳 米 材 料 等 先 进 材 料 的 高 端 设 备 领 域 , 将 继 续 投 资 于 人 才 和 技 术 , 通 过 与 业 界 合 作 伙 伴 加 强 相 关 合 作 , 加 快 技 术 创 新 和 产 品 开 发 , 以 适 应 快 速 变 化 的 市 场 需 求 。 2 0 2 4 0 4 1 6 全 国 咨 询 热 线 : 0 7 5 5 2 3 2 4 3 3 4 5 邮 箱 : c o n t a c t @ n a s o t e c h . c o m 地 址 : 深 圳 市 光 明 区 凤 凰 街 道 凤 凰 社 区 观 光 路 招 商 局 光 明 科 技 园 A 3 C 栋 3 楼 首 页 关 于 纳 设 公 司 简 介 企 业 文 化 发 展 历 程 资 质 与 荣 誉 相 关 专 利 产 品 与 技 术 应 用 产 品 系 列 碳 化 硅 外 延 设 备 原 子 层 沉 积 设 备 科 研 级 定 制 化 C V D 设 备 开 放 式 卷 对 卷 石 墨 烯 制 备 设 备 应 用 领 域 光 伏 钙 钛 矿 第 三 代 半 导 体 二 维 材 料 新 闻 中 心 公 司 动 态 行 业 资 讯 诚 聘 英 才 联 系 我 们 提 交 C O P Y R I G H T 2 0 2 4 深 圳 市 纳 设 智 能 装 备 股 份 有 限 公 司 网 站 制 作 : 中 企 动 力   深 圳

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