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苏 州 智 程 半 导 体 科 技 股 份 有 限 公 司 _ 半 导 体 _ 清 洗 机 网 站 首 页 产 品 中 心 应 用 领 域 产 品 类 型 资 讯 动 态 智 程 动 态 行 业 资 讯 供 应 商 供 应 商 采 购 订 单 条 款 与 条 件 供 应 商 征 集 服 务 流 程 关 于 智 程 企 业 介 绍 发 展 历 程 企 业 文 化 荣 誉 资 质 联 系 智 程 联 系 方 式 加 入 我 们 在 线 留 言 c n e n e n 网 站 首 页 产 品 中 心 应 用 领 域 产 品 类 型 资 讯 动 态 智 程 动 态 行 业 资 讯 供 应 商 供 应 商 采 购 订 单 条 款 与 条 件 供 应 商 征 集 服 务 流 程 关 于 智 程 企 业 介 绍 发 展 历 程 企 业 文 化 荣 誉 资 质 联 系 智 程 联 系 方 式 加 入 我 们 在 线 留 言 了 解 详 情 单 片 湿 法 刻 蚀 清 洗 设 备 S C 3 1 0 0 系 列 应 用 领 域 ： R C A 清 洗 ， 沉 积 前 清 洗 ， 蚀 刻 后 清 洗 ， C M P 后 清 洗 ， 湿 法 刻 蚀 ， E P I 前 清 洗 等 了 解 详 情 应 用 领 域 集 成 电 路 前 道 清 洗 集 成 电 路 先 进 封 装 化 合 物 半 导 体 领 域 衬 底 制 造 了 解 详 情 洁 净 室 无 尘 车 间 百 级 / 千 级 / 万 级 了 解 详 情 P R O D U C T S A P P L I C A T I O N 应 用 领 域 集 成 电 路 先 进 封 装 电 镀 设 备 V M A X 3 D 应 用 领 域 ： P i l l a r ， B u m p ， R D L ， T S V 等 工 艺 集 成 电 路 前 道 清 洗 槽 式 湿 法 刻 蚀 清 洗 设 备 B C 3 1 0 0 系 列 工 艺 覆 盖 ： R C A 清 洗 ， G A T E 清 洗 ， 氧 化 层 清 洗 ， 湿 法 去 胶 等 化 合 物 半 导 体 背 面 腐 蚀 清 洗 机 S E 系 列 应 用 领 域 ： 碳 化 硅 及 硅 的 功 率 器 件 应 用 、 硅 基 工 艺 器 件 半 导 体 衬 底 全 自 动 槽 式 机 （ Z S E A u t o B e n c h ) 应 用 领 域 ： 晶 圆 级 封 装 中 去 胶 、 常 压 助 焊 剂 清 洗 、 金 属 刻 蚀 等 应 用 集 成 电 路 先 进 封 装 电 镀 设 备 V M A X 3 D 应 用 领 域 ： P i l l a r ， B u m p ， R D L ， T S V 等 工 艺 集 成 电 路 前 道 清 洗 槽 式 湿 法 刻 蚀 清 洗 设 备 B C 3 1 0 0 系 列 工 艺 覆 盖 ： R C A 清 洗 ， G A T E 清 洗 ， 氧 化 层 清 洗 ， 湿 法 去 胶 等 化 合 物 半 导 体 背 面 腐 蚀 清 洗 机 S E 系 列 应 用 领 域 ： 碳 化 硅 及 硅 的 功 率 器 件 应 用 、 硅 基 工 艺 器 件 半 导 体 衬 底 全 自 动 槽 式 机 （ Z S E A u t o B e n c h ) 应 用 领 域 ： 晶 圆 级 封 装 中 去 胶 、 常 压 助 焊 剂 清 洗 、 金 属 刻 蚀 等 应 用 P R O D U C T S C E N T E R 产 品 中 心 单 片 清 洗 设 备 槽 式 清 洗 设 备 电 镀 设 备 金 属 剥 离 设 备 化 学 液 供 应 设 备 铜 钛 刻 蚀 一 体 机 （ S E 系 列 ） 背 面 腐 蚀 清 洗 机 （ S E 系 列 ） 背 面 清 洗 机 （ S C 系 列 ） 刷 片 清 洗 机 （ S S 系 列 ） 单 片 湿 法 刻 蚀 清 洗 设 备 （ S C 3 1 0 0 系 列 ） 真 空 清 洗 设 备 （ S C 系 列 ） S P I N 复 合 机 （ S C 系 列 ） 单 片 湿 法 刻 蚀 清 洗 设 备 （ S C 系 列 ） 槽 式 湿 法 刻 蚀 清 洗 设 备 （ B C 3 1 0 0 系 列 ） 全 自 动 槽 式 机 （ B C 系 列 ） 槽 式 湿 法 刻 蚀 清 洗 设 备 （ B C 系 列 ） 电 镀 设 备 V M A X 3 D 电 镀 设 备 V M A X 2 D 金 属 剥 离 设 备 （ C C 系 列 ） S l u r r y D i s p e n s e S y s t e m C h e m i c a l D i s p e n s e S y s t e m A B O U T Z H I C H E N G 关 于 智 程 1 5 年 2 0 0 9 年 成 立 至 今 7 6 8 9 万 注 册 资 本 7 6 8 9 万 元 3 5 0 0 0 m ² 工 厂 占 地 面 积 约 4 0 0 + 员 工 4 0 0 + 人 苏 州 智 程 半 导 体 科 技 股 份 有 限 公 司 专 精 特 新 重 点 “ 小 巨 人 ” 企 业 高 新 技 术 企 业 苏 州 智 程 半 导 体 科 技 股 份 有 限 公 司 （ 简 称 ： 苏 州 智 程 ） 创 立 于 2 0 0 9 年 ， 作 为 专 精 特 新 重 点 小 巨 人 企 业 及 江 苏 省 高 新 技 术 企 业 ， 始 终 深 耕 半 导 体 湿 制 程 装 备 领 域 发 展 。 公 司 先 后 获 评 江 苏 省 企 业 工 程 技 术 研 究 中 心 、 江 苏 省 湿 制 程 设 备 研 究 中 心 双 重 创 新 载 体 资 质 ， 同 时 担 任 中 国 电 子 专 用 设 备 工 业 协 会 理 事 单 位 ， 并 获 得 中 国 半 导 体 行 业 协 会 及 江 苏 省 半 导 体 行 业 协 会 双 重 会 员 认 证 ， 彰 显 行 业 标 杆 地 位 。 在 技 术 创 新 维 度 ， 公 司 构 建 了 以 清 洗 、 电 镀 、 高 温 湿 法 去 胶 / 蚀 刻 为 核 心 的 技 术 矩 阵 ， 其 中 其 中 自 主 开 发 对 标 国 际 一 流 大 厂 的 水 平 电 镀 设 备 荣 获 江 苏 省 首 台 套 重 大 装 备 称 号 ； 公 司 拥 有 覆 盖 全 产 业 链 的 自 主 知 识 产 权 体 系 ， 迄 今 累 计 授 权 发 明 专 利 1 3 3 项 、 实 用 新 型 2 6 项 、 外 观 设 计 7 项 ， 辅 以 4 6 项 软 件 著 作 权 构 筑 了 立 体 化 技 术 壁 垒 ， 形 成 难 以 逾 越 的 行 业 竞 争 优 势 。 聚 焦 产 品 矩 阵 ， 公 司 构 建 半 导 体 清 洗 设 备 、 电 镀 / 化 镀 设 备 、 高 纯 化 学 品 输 送 系 统 三 大 战 略 产 品 线 。 其 中 单 片 清 洗 设 备 累 计 出 货 量 突 破 4 5 0 腔 ， 电 镀 设 备 交 付 量 逾 2 8 0 腔 ， 产 品 体 系 全 面 覆 盖 半 导 体 前 道 制 程 、 大 硅 片 制 造 、 先 进 封 装 、 特 色 工 艺 及 化 合 物 半 导 体 等 关 键 领 域 。 凭 借 持 续 的 创 新 驱 动 与 迭 代 升 级 ， 苏 州 智 程 已 发 展 成 为 国 内 半 导 体 湿 法 设 备 领 域 具 核 心 竞 争 力 的 整 体 解 决 方 案 供 应 商 ， 为 半 导 体 产 业 国 产 化 进 程 注 入 强 劲 动 能 。 H O N O R A R Y Q U A L I F I C A T I O N S 荣 誉 资 质 国 家 专 精 特 新 重 点 “ 小 巨 人 ” 企 业 江 苏 省 高 新 技 术 企 业 江 苏 省 半 导 体 湿 制 程 设 备 工 程 技 术 研 究 中 心 江 苏 省 高 新 技 术 产 业 开 发 区 瞪 羚 企 业 江 苏 省 首 台 （ 套 ） 重 大 设 备 苏 州 市 质 量 奖 江 苏 省 半 导 体 行 业 协 会 会 员 I S O 9 0 0 1 认 证 审 核 证 书 S E M I 证 书 知 识 产 权 管 理 体 系 认 证 证 书 1 5 6 申 请 发 明 专 利 1 2 1 授 权 发 明 专 利 3 7 申 请 实 用 新 型 专 利 3 0 授 权 实 用 新 型 专 利 9 申 请 外 观 设 计 专 利 7 授 权 外 观 设 计 专 利 5 6 软 件 著 作 权 N E W S C E N T E R 资 讯 动 态 智 程 动 态 行 业 资 讯 喜 报 | 智 程 半 导 体 荣 获 2 0 2 4 中 国 第 三 代 半 导 体 制 造 “ 新 锐 企 业 ” 奖 ！ 智 程 半 导 体 荣 获 2 0 2 4 中 国 第 三 代 半 导 体 制 造 “ 新 锐 企 业 ” 奖 ！ 公 示 | 苏 州 智 程 新 添 2 0 2 4 年 度 能 源 管 理 体 系 认 证 证 书 国 家 认 证 认 可 监 督 委 员 会 公 共 服 务 平 台 公 布 信 息 ， 苏 州 智 程 ​ 半 导 体 科 技 股 份 有 限 公 司 获 得 “ 能 源 管 理 体 系 认 证 证 书 “ 。 2 0 2 4 年 度 昆 山 市 祖 冲 之 攻 关 计 划 项 目 巡 礼 — — 金 π ： 智 程 半 导 体 3 月 1 4 日 ， “ 新 质 领 航 π 生 科 创 ” 昆 山 市 科 技 创 新 大 会 暨 祖 冲 之 攻 关 计 划 发 布 会 举 行 。 会 上 ， 我 市 揭 晓 了 2 0 2 4 年 度 祖 冲 之 攻 关 计 划 项 目 。 2 0 2 3 年 苏 锡 常 首 台 （ 套 ） 重 大 装 备 拟 认 定 名 单 出 炉 昆 山 高 新 区 此 次 上 榜 设 备 全 自 动 单 式 清 洗 机 （ Z C W B A 3 ） 针 对 大 尺 寸 薄 片 晶 圆 全 自 动 清 洗 ， 处 理 能 力 为 8 英 寸 晶 圆 小 厚 度 1 5 0 μ m 、 1 2 英 寸 晶 圆 小 厚 度 2 0 0 μ m ， 清 洗 效 率 高 。 公 司 自 主 开 发 的 翘 曲 晶 圆 吸 附 技 术 、 精 准 定 位 技 术 、 伯 努 利 非 接 触 式 抓 取 技 术 工 艺 先 进 、 产 能 大 ， 填 补 了 国 内 薄 片 晶 圆 8 英 寸 和 1 2 英 寸 全 自 动 清 洗 装 备 的 空 白 ， 处 于 国 内 领 先 地 位 。 全 自 动 晶 圆 级 水 平 电 镀 机 顺 利 交 付 近 日 智 程 半 导 体 V M A X 型 电 镀 设 备 顺 利 出 机 ， 并 向 国 内 重 要 客 户 成 功 交 付 。 该 设 备 由 智 程 半 导 体 自 主 研 发 并 制 造 ， 是 公 司 在 先 进 封 装 电 镀 领 域 的 主 力 机 型 。 苏 州 智 程 半 导 体 科 技 股 份 有 限 公 司 S U Z H O U Z H I C H E N G S E M I C O N D U C T O R T E C H N O L O G Y C O . , L T D .   联 系 电 话 ： 0 5 1 2 5 7 7 6 2 3 2 5 0 5 1 2 5 5 2 3 9 3 9 2 地 址 ： 江 苏 省 昆 山 市 中 华 路 8 8 9 号 邮 箱 ： z s e @ z c s e m i . c o m 网 站 首 页 产 品 中 心 应 用 领 域 产 品 类 型 资 讯 动 态 智 程 动 态 行 业 资 讯 供 应 商 供 应 商 采 购 订 单 条 款 与 条 件 供 应 商 征 集 服 务 流 程 关 于 智 程 企 业 介 绍 发 展 历 程 企 业 文 化 荣 誉 资 质 联 系 智 程 联 系 方 式 加 入 我 们 在 线 留 言 版 权 所 有 © 苏 州 智 程 半 导 体 科 技 股 份 有 限 公 司     |     苏 I C P 备 1 9 0 6 1 8 5 6 号 2     |     公 安 备 案 号 ： 3 2 0 7 0 3 0 2 0 1 0 0 1 5     | 设 计 开 发 ： 联 合 企 邦 0 5 1 2 5 7 7 6 2 3 2 5 0 5 1 2 5 5 2 3 9 3 9 2 z s e @ z c s e m i . c o m

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