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精 新 电 源 国 产 等 离 子 体 电 源 领 跑 者 薄 膜 沉 积 电 源 , 离 子 注 入 电 源 , 材 料 改 性 电 源 , 高 稳 定 度 电 源 首 页 产 品 中 心 H i P I M S 电 源 磁 控 溅 射 电 源 高 稳 定 度 直 流 电 源 偏 压 电 源 离 子 注 入 电 源 离 子 源 电 源 等 离 子 弧 电 源 离 子 束 电 源 核 心 技 术 恒 功 率 输 出 特 性 功 率 因 数 校 正 本 质 性 抑 弧 灭 弧 满 足 E M C 标 准 行 业 领 先 电 源 效 率 行 业 解 决 方 案 光 伏 产 业 半 导 体 制 造 高 端 装 饰 镀 膜 玻 璃 镀 膜 工 业 工 具 新 材 料 制 造 关 于 我 们 公 司 概 况 联 系 我 们 首 页 核 心 技 术 产 品 中 心 行 业 解 决 方 案 关 于 我 们 公 司 概 况 联 系 我 们 国 产 等 离 子 体 电 源 领 跑 者 查 看 所 有 产 品 为 您 的 工 艺 提 供 坚 实 后 盾 查 看 核 心 技 术 满 足 不 同 行 业 客 户 需 求 查 看 行 业 解 决 方 案 重 点 产 品 行 业 领 先 的 等 离 子 体 电 源 ， 为 您 的 工 艺 提 供 坚 实 后 盾 。 H i P I M S 电 源 磁 控 溅 射 电 源 高 稳 定 度 电 源 偏 压 电 源 离 子 注 入 电 源 磁 场 控 制 电 源 等 离 子 弧 电 源 离 子 束 电 源 H i P I M S 高 功 率 脉 冲 磁 控 溅 射 电 源 H i P I M S 高 功 率 脉 冲 磁 控 溅 射 电 源 被 广 泛 应 用 于 各 类 P V D 工 艺 ， 用 来 制 备 高 端 金 属 装 饰 膜 , 功 能 膜 和 类 金 刚 石 ( D L C ) 膜 层 等 。 相 较 于 中 频 磁 控 溅 射 电 源 ， H i P I M S 有 着 离 化 率 高 ， 绕 镀 性 好 ， 膜 层 致 密 性 好 ， 成 膜 色 泽 优 异 等 特 点 。 H i P I M S 最 典 型 的 应 用 包 括 对 膜 层 致 密 性 要 求 高 的 各 类 功 能 膜 和 硬 质 膜 ， i P h o n e 的 玫 瑰 金 手 机 壳 ， 高 端 手 表 表 壳 等 。 行 业 领 先 的 精 新 H i P I M S 电 源 作 为 可 对 标 德 国 霍 廷 格 ( T R U M P F H ü t t i n g e r ) 同 类 型 电 源 的 产 品 ， 已 为 国 内 十 多 家 真 空 镀 膜 客 户 提 供 了 优 质 服 务 ， 广 受 好 评 。 磁 控 溅 射 电 源 精 新 电 源 提 供 国 内 领 先 的 多 种 规 格 的 磁 控 溅 射 电 源 ， 包 括 中 频 磁 控 溅 射 电 源 、 非 对 称 脉 冲 磁 控 溅 射 电 源 等 ， 可 广 泛 适 用 于 各 类 离 子 镀 膜 P V D 工 艺 。 在 最 佳 等 离 子 体 工 作 区 域 内 ， 精 新 磁 控 溅 射 电 源 的 载 荷 能 力 （ 荷 靶 数 量 ） 是 国 内 同 功 率 电 源 的 3 倍 ， 国 外 同 功 率 电 源 的 1 . 5 倍 。 可 同 时 驱 动 三 个 单 极 磁 控 靶 或 者 三 对 孪 生 磁 控 靶 。 同 时 ， 精 新 磁 控 溅 射 电 源 拥 有 同 行 业 首 创 的 微 分 弧 检 测 ， 本 质 弧 抑 制 和 四 象 限 弧 能 量 释 放 管 理 技 术 ， 确 保 工 件 在 沉 积 过 程 中 免 遭 弧 损 伤 。 高 稳 定 度 直 流 电 源 精 新 电 源 有 着 十 多 年 粒 子 加 速 器 电 源 研 发 经 验 ， 多 次 成 为 多 项 国 家 大 科 学 工 程 电 源 供 应 商 。 曾 参 与 的 国 家 大 科 学 工 程 项 目 包 括 正 负 电 子 对 撞 机 （ 中 科 院 高 能 物 理 研 究 所 ） 、 全 国 唯 一 一 台 重 离 子 加 速 器 （ 中 科 院 近 代 物 理 研 究 所 ） 、 第 三 代 同 步 光 源 （ 中 科 院 上 海 应 用 物 理 研 究 所 ） 等 。 精 新 高 稳 定 度 直 流 电 源 长 期 稳 定 度 可 达 万 分 之 五 ( 5 x 1 0 ^ 4 ) 。 偏 压 电 源 偏 压 电 源 在 真 空 离 子 镀 膜 工 艺 中 对 膜 层 质 量 起 着 至 关 重 要 的 作 用 ， 偏 压 可 显 著 提 升 沉 积 速 率 、 提 升 膜 层 与 工 件 的 结 合 力 、 增 加 膜 层 致 密 性 。 精 新 偏 压 电 源 可 运 行 于 等 离 子 清 洗 、 刻 蚀 和 偏 压 三 种 不 同 的 功 能 模 式 ， 适 用 于 等 离 子 体 薄 膜 沉 积 工 艺 中 的 不 同 流 程 。 同 时 ， 精 新 偏 压 电 源 拥 有 同 行 业 首 创 的 微 分 弧 检 测 ， 本 质 弧 抑 制 和 四 象 限 弧 能 量 释 放 管 理 技 术 ， 确 保 工 件 在 沉 积 过 程 中 免 遭 弧 损 伤 。 离 子 注 入 电 源 离 子 注 入 是 现 代 半 导 体 制 备 与 微 电 子 工 艺 中 不 可 或 缺 的 重 要 步 骤 。 离 子 注 入 电 源 的 好 坏 直 接 决 定 了 最 终 成 品 的 质 量 。 精 新 电 源 依 托 十 多 年 在 国 家 大 科 学 工 程 粒 子 加 速 器 中 积 累 的 经 验 ， 沉 淀 出 了 数 款 不 同 规 格 的 离 子 注 入 电 源 供 工 业 级 用 户 选 用 ， 可 完 美 适 配 市 面 上 广 大 的 离 子 注 入 设 备 。 磁 场 控 制 电 源 长 久 以 来 在 P V D 工 艺 中 ， 因 为 无 法 对 腔 体 内 的 磁 场 进 行 动 态 控 制 ， 导 致 靶 材 的 利 用 率 比 较 低 ， 镀 出 的 膜 层 也 不 够 均 匀 。 精 新 电 源 拥 有 国 内 首 创 的 磁 场 控 制 电 源 ， 包 括 三 角 波 电 源 、 磁 场 扫 描 电 源 等 ， 可 以 灵 活 动 态 的 在 工 艺 过 程 中 调 整 腔 体 内 的 磁 场 ， 解 决 P V D 工 艺 流 程 中 遇 到 的 各 类 磁 场 相 关 的 问 题 。 等 离 子 弧 电 源 多 弧 离 子 镀 是 现 代 P V D 工 艺 中 最 为 成 熟 的 工 艺 之 一 。 精 新 电 源 出 产 的 等 离 子 弧 电 源 在 传 统 的 弧 电 源 基 础 上 ， 通 过 独 创 的 延 面 击 穿 方 式 引 弧 ， 克 服 了 传 统 蒸 发 镀 工 艺 中 需 要 使 用 钨 丝 等 材 料 引 弧 而 对 膜 层 造 成 污 染 等 问 题 。 精 新 多 弧 离 子 镀 电 源 拥 有 同 行 业 领 先 的 电 源 效 率 ， 最 高 电 源 效 率 可 达 9 2 . 6 % ， 大 幅 减 少 工 艺 的 能 源 消 耗 成 本 。 离 子 束 电 源 离 子 束 电 源 适 用 于 各 类 特 种 金 属 蒸 发 镀 工 艺 。 其 可 以 使 特 种 金 属 材 料 快 速 升 温 ， 使 其 面 状 蒸 发 ， 制 备 出 的 膜 层 洁 净 均 匀 。 精 新 离 子 束 电 源 提 供 多 种 波 形 与 宽 广 的 功 率 域 供 用 户 选 择 ， 可 适 应 多 种 不 同 的 工 艺 与 需 求 。 查 看 全 部 产 品 核 心 技 术 世 界 先 进 的 恒 功 率 输 出 伏 安 特 性 有 源 三 相 功 率 因 数 校 正 , 功 率 因 数 大 于 9 9 % 本 质 性 抑 弧 与 四 象 限 弧 能 量 释 放 管 理 满 足 国 际 标 准 的 电 磁 兼 容 性 同 行 业 领 先 的 电 源 效 率 为 不 同 行 业 提 供 薄 膜 沉 积 、 离 子 注 入 与 材 料 改 性 解 决 方 案 光 伏 产 业 半 导 体 制 造 高 端 装 饰 镀 膜 玻 璃 镀 膜 工 业 工 具 新 材 料 制 备 1 9 9 6 年 * 公 司 成 立 2 3 年 深 耕 等 离 子 技 术 3 0 年 电 源 设 备 技 术 经 验 6 8 所 合 作 客 户 单 位 公 司 概 况 上 海 / 苏 州 精 新 汇 能 电 源 科 技 有 限 公 司 全 面 承 接 兰 州 精 新 电 源 设 备 有 限 公 司 2 0 + 年 的 技 术 积 累 、 产 品 研 发 和 商 业 资 源 ， 是 多 个 重 大 科 研 项 目 的 唯 一 等 离 子 电 源 供 应 商 。 公 司 先 后 承 担 中 科 院 近 代 物 理 所 “ 重 离 子 加 速 器 ” 、 中 科 院 高 能 所 “ 正 负 电 子 对 撞 机 ” 、 中 科 院 应 用 物 理 所 “ 第 三 代 同 步 光 源 加 速 器 ” 、 中 科 院 等 离 子 所 “ 托 卡 马 克 ” 磁 约 束 核 聚 变 装 置 等 国 家 大 科 学 工 程 。 公 司 拥 有 多 个 国 家 自 主 知 识 产 权 ， 聚 焦 工 业 和 科 研 场 景 ， 已 为 数 十 个 国 内 头 部 企 业 和 科 研 单 位 提 供 数 百 台 材 料 表 面 处 理 电 源 。 公 司 核 心 团 队 来 自 美 国 卡 耐 基 梅 隆 大 学 、 多 伦 多 大 学 、 华 中 科 技 大 学 、 吉 林 大 学 和 中 科 院 等 ， 拥 有 数 十 年 国 家 科 研 单 位 使 用 的 等 离 子 体 电 源 的 研 发 经 验 。 * 兰 州 精 新 电 源 设 备 有 限 公 司 成 立 于 1 9 9 6 年 查 看 更 多 部 分 客 户 名 单 产 品 中 心 H i P I M S 电 源 磁 控 溅 射 电 源 高 稳 定 度 直 流 电 源 偏 压 电 源 离 子 注 入 电 源 离 子 源 电 源 等 离 子 弧 电 源 离 子 束 电 源 核 心 技 术 恒 功 率 输 出 特 性 功 率 因 数 校 正 本 质 性 抑 弧 灭 弧 满 足 E M C 标 准 行 业 领 先 电 源 效 率 行 业 解 决 方 案 光 伏 产 业 半 导 体 制 造 高 端 装 饰 镀 膜 玻 璃 镀 膜 工 业 工 具 新 材 料 制 造 关 于 我 们 公 司 概 况 联 系 我 们 © 版 权 所 有 2 0 2 3 精 新 电 源 J X P l a s m a T e c h n o l o g y 沪 公 网 安 备 3 1 0 1 0 6 0 2 0 0 7 4 8 9 号 沪 I C P 备 2 0 2 3 0 0 9 3 8 6 号

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